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高純氣體露點變送器Pura

品 牌：密析爾

產(chǎn) 地：英國

高純氣體露點變送器Pura產(chǎn)品簡介

密析爾儀表目前向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120℃ (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。

Pura露點變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的首個適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用場合，測量微量濕度水平的一體式變送器。

高純氣體露點變送器Pura產(chǎn)品特點

測量下限-120℃露點 (1 ppbV)

測量穩(wěn)定，重復(fù)性好

高度集成的采樣裝置

模擬和數(shù)字輸出

安裝簡便，設(shè)計緊湊小巧

VCR過程接口

顯示/報警單元可選

高純氣體露點變送器Pura技術(shù)參數(shù)

傳感器類型：密析爾陶瓷濕度傳感器

量    程：-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)

精    度：±1°C   -40 ~ -60°C;

±2°C   -61 ~ -100°C;

±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)

分 辨 率：0.1°C        -40 ~ -79.9°C;

1°C           -80 ~ -100°C;

1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C

壓    力：最低 10-9 torr; 最大 24 MPa 

氣體流量：1 ~ 5 Nl/min

電    源：通常 24 V DC, 最低10 V ~ 最高28 V , 最大電流 25 mA

輸    出：4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)

最大負(fù)載= 100Ω+ 50Ωx (V電源-8)

輸出出錯狀態(tài)：標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23mA=傳感器故障；20 mA=超上限；4 mA=超下限

傳感器套筒：不銹鋼， 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光

氣路連接端口：Premium 或 OEM 型：¼" m VCR 接口

Pura Sensor 型：½" m VCR 接口 

安裝配置：Premium或OEM 型：120.00mm 長，氣路端口的端面密封。無需預(yù)留管路空隙

底座上有2個M4 x 0.7， 7mm 深的安裝孔，斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm

Pura Sensor 型：適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中 

尺    寸：Premium或OEM型：120 x 35 x 150mm

Pura Sensor 型：132 x 35mm

重    量：Premium或OEM型：450g

Pura Sensor 型：180g

包    裝：Pura：雙層包裝, 惰性氣體填充密封

Pura OEM 或 Pura Sensor 型：單層包裝

所有選配件：獨立包裝運輸

Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套，用以運輸及操作