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(2)向房間加壓,確保臟空氣不會流入潔凈室。其次,潔凈室的建筑材料不產生粒子且便于清潔。
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3、清洗雜質時,特別注意過濾芯上的不銹鋼鋼絲網不能變形或損壞,否則,再裝上去的過濾器,過濾后介質的純度達不到設計要求,壓縮機、泵、儀表等設備會遭到破壞;
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