優(yōu)質(zhì)鎵擴(kuò)擴(kuò)散爐生產(chǎn)廠家
產(chǎn)品價(jià)格：￥（人民幣）
商鋪名稱：襄陽(yáng)儀波達(dá)微電子設(shè)備有限公司
聯(lián)系人：吳園園（）
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企業(yè)郵箱：2473765394@qq.com
聯(lián)系地址：湖北省襄樊市高新工業(yè)園
郵編：
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商品詳情
鎵擴(kuò)擴(kuò)散爐
主要技術(shù)指標(biāo)
擴(kuò)散爐組機(jī)、推拉舟及層流凈化臺(tái)
源柜、排毒柜、微機(jī)控制柜
擴(kuò)散爐管數(shù):1~3管/臺(tái)
爐管內(nèi)徑:90~240mm（2寸-6寸）
恒溫區(qū)長(zhǎng)度:600~1000mm±1℃（300~800℃）
600~1000m±0.5℃(800~1250℃)
單點(diǎn)穩(wěn)定性:±1℃/24H（300~800℃）
±0.5℃/24H（800~12500℃）
氣源路數(shù):5路
氣源控制:MFC或浮子流量計(jì)
推拉舟速度范圍及精度:（1~1000）±3mm/min
控制器采用歐姆龍觸摸屏和PLC控制
