商鋪名稱：襄陽儀波達微電子設備有限公司
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商品詳情
產品簡介
設備用途:半導體器件、太陽能電池片、電力半導體。
設備特點:采用積木式組合、控溫器、推拉舟、流量計、閥門有多種不同配置供用戶選擇。
鎵擴擴散爐
主要技術指標
擴散爐組機、推拉舟及層流凈化臺
源柜、排毒柜、微機控制柜
擴散爐管數:1~3管/臺
爐管內徑:90~240mm（2寸-6寸）
恒溫區長度:600~1000mm±1℃（300~800℃）
600~1000m±0.5℃(800~1250℃)
單點穩定性:±1℃/24H（300~800℃）
±0.5℃/24H（800~12500℃）
氣源路數:5路
氣源控制:MFC或浮子流量計
推拉舟速度范圍及精度:（1~1000）±3mm/min
控制器采用歐姆龍觸摸屏和PLC控制
