商鋪名稱：青島福潤德微電子設備有限公司
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商品詳情
工作溫度：300~1300℃ ◆有效口徑根據用戶擴散片確定，可訂制 ◆恒溫區長度：1080mm（可根據用戶要求定制） ◆溫區精度（靜態閉管測試）： 600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃ 300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃ ◆單點溫度穩定性（靜態閉管測試）： 600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h 300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h ◆溫度斜變能力： 大可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min 大降溫速度（1300～900℃）：5℃/min ◆氣體流量設定精度：±2％FS ◆氣路系統氣密性：1×10-7PA.m3/s ◆自動送料裝置行程：~2000mm 速度：5~1000mm/min SiC漿承重 19kg ◆裝片數量 400片/管 ◆凈化臺潔凈度 100級（10000級廠房） ◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz； ◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min 太陽能電池擴散主要有開管擴散和閉管軟著陸擴散兩種形式 ◆閉管磷擴散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、CL2分開收集處理；工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；各種工藝氣體可分開送 入石英管內，工藝氣體（三氯氧磷）可采用噴淋式方式引入到石英管內。閉管軟著陸擴散方式工藝過程完全不受外界環境干擾，工藝質量 完全受保護。 ◆自動化程度：自動控制溫度及工藝過程。主控溫控模塊采用國外進口，可在達到±0.25℃的控制精度。 ◆送取片方式：懸臂式推拉舟。采用側面布局的懸臂推拉結構，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機構受腐蝕，影響推拉機構的精確性。
