青島福潤(rùn)德牌擴(kuò)散爐專(zhuān)用爐體
產(chǎn)品價(jià)格：￥0000（人民幣）
商鋪名稱(chēng)：青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司
聯(lián)系人：岳曉茜（小姐）
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聯(lián)系地址：青島市城陽(yáng)區(qū)北萬(wàn)工業(yè)園6號(hào)
郵編：266000
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商品詳情
可完全代替進(jìn)口爐體，優(yōu)質(zhì)加熱爐絲，進(jìn)口保溫材料，采用國(guó)外先進(jìn)加工工藝，爐體可長(zhǎng)期使用在高溫下，處理12英寸以下硅片，工作溫度2000℃-1286℃。 設(shè)備特點(diǎn)： 可保存多條工藝曲線(xiàn)每條曲線(xiàn)可設(shè)置多步 工藝曲線(xiàn)的自動(dòng)運(yùn)行控制功能 工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能 自動(dòng)運(yùn)行中可暫停／繼續(xù)運(yùn)行功能 可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能 PID參數(shù)自整定功能 工藝氣體的程序控制功能 關(guān)鍵部件全部具有高可靠性 具有良好的人機(jī)界面 系統(tǒng)故障自診功能 停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等 具有歷史記錄功能 具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償 技術(shù)指標(biāo)： 可配置工藝管外徑2～8英寸 可配置工藝管數(shù)量：1～4管/臺(tái) 工作溫度范圍：400～1300℃ 恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：300～1250mm 800～1300℃±0.5℃ 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：800～1300℃±0.5℃/24h 大可控升溫速率：15℃/min 大降溫速率：5℃/min
