商鋪名稱:青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
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高純材料提純設(shè)備主要滿足高純砷等新材料制造行業(yè),對材料進(jìn)行氣氛保護(hù)下的燒結(jié)、升華、還原、精餾等工藝。 主要性能指標(biāo): ?外型形式:臥式結(jié)構(gòu),水平爐管 ?工作溫度:200℃—1100℃ ?恒溫區(qū)長度:根據(jù)工藝要求 ?儀表控溫精度:千分之三高精度 ?可通工藝氣體:氮?dú)狻⒀鯕狻錃狻鍤獾? ?氣體控制方式:MFC或浮子流量計(jì)控制 ?報(bào)警系統(tǒng):氣體壓力異常報(bào)警、斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警 ?控制方式:程序控制或工控機(jī)+觸摸屏控制 產(chǎn)品特點(diǎn): ?采用國內(nèi)獨(dú)有的開合式設(shè)計(jì)方式; ?工藝降溫速度快; ?生產(chǎn)效率高; ?設(shè)備維護(hù)簡便