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尼康干涉物鏡10倍參數介紹
尼康干涉物鏡10倍參數介紹

     干涉測量鏡頭可用在非接觸光學壓型測量設備上，通過此鏡頭可得到表面位圖和表面測量參數等

也可用來檢測表面粗糙度，測量精度非常高，在一個波長之內。一束光通過分光鏡，可將光直接射向樣品表面和內置反光鏡。

從樣品表面反射的光線通過再結合，就產生了干涉圖案。與Mirau鏡頭比起來，Michelson鏡頭擁有更長的工作距離，

更寬的視場和更大的焦深。Mir

詳情介紹

干涉物鏡

2.5x 5x 10x 20x 50x100x

工作距離（mm） 10.3 9.3 7.4 4.7 3.42.0

NA（數值孔徑） 0.055 0.15 0.30 0.450.55 0.7

FOV（mm）1 5093×3818 2546×19091270×950 637×477 254×190 127×95

空間采樣（mm）2 6.64 3.32 1.62 0.830.33 0.17

光學分辨率 藍光（L&S）（mm）3 2.550.93 0.46 0.31 0.25 0.20

光學分辨率 白光（L&S）（mm）3 3.041.11 0.56 0.37 0.30 0.24

大坡度4 3.05o 8.6o 14o 21o 25o42o

垂直分辨率（nm）PSI7

垂直分辨率（nm）ePSI7 <0.1nm（PZT0.01nm）

垂直分辨率（nm）VSI7 1nm5mm

垂直范圍PSI(mm) 5mm

垂直范圍ePSI(mm) 100mm

垂直范圍VSI(mm) 10mm

掃描速率（mm/s） PSI：3-15mm/sVSI/ePSI：4-18mm/s

一般測量時間（s）9 PSI：3s VSI：10sePSI：30s


物鏡的結構進行必要的解析，旨在幫助用戶、讀者更加了解物鏡。

我們就以基本的平場消色差物鏡（PlanAchromat）和平場復消色差物鏡（Plan Apochromat）為例，對其內部結構進行分析圖解。





上圖所示，為奧林巴斯物鏡剖面圖，我們可以通過上圖清晰看到物鏡的內部結構，可以看出，顯微鏡物鏡的內部均為透鏡組合，多個透鏡組合是為了彌補單個透鏡成像的缺陷，提高物鏡的光學質量。顯微鏡的放大作用主要取決于物鏡，物鏡質量的好壞直接影響顯微鏡映像質量，它是決定顯微鏡的分辨率和成像清晰程度的主要部件，對物鏡的校正是很重要的。



物鏡的結構復雜，制作精密，用戶在選購時，一定要對自己的使用需求有充分的了解，選擇的商家進行購買。